半導體企業廢氣怎么治理?

- 格林斯達環保
- 擅長:廢氣處理工藝技術、污水治理工藝技術,專注環保領域19年
一、半導體企業廢氣成分
半導體企業廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機廢氣、砷排和一般排氣等。
二、半導體企業廢氣治理工藝及流程
1、半導體企業酸性或堿性廢氣,格林斯達廢氣處理公司采用的廢氣治理工藝為:酸堿中和處理法。
酸堿廢氣治理工藝流程為:
風管廢氣收集→酸性/堿性廢氣洗滌塔化學洗滌→耐腐蝕風機引風→煙囪排氣達標排放
2、半導體企業有機廢氣治理工藝為:直接燃燒法
有機廢氣治理工藝流程為:
有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達標排放
三、微電子企業廢氣治理客戶成功案例
半導體企業廢氣治理客戶成功案例,詳見格林斯達環保官網:中芯集成電路制造(紹興)有限公司廢氣治理工程案例。
半導體廢氣治理客戶案例:紹興中芯